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MPCVD等离子阵列

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等离子体阵列-可扩展等离子体源

产品型号：MA6000A-013BB

低压微波等离子体源
适用于清洗、蚀刻、灰化、沉积、灭菌、预处理
可扩张的紧凑式设计
集成气体喷淋
集成微波发生器系统
高等离子体密度
高效，低伤害

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