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中标：北京航空航天大学-MUEGGE微波等离子去胶机

发布时间：

2022-10-9

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微波功率1.25kW/3kW 频率2.45GHz
工艺台面尺寸460X460mm，可同时处理9个6”片
可有效去除SU-8胶，速率：20um/min，
对于大面积样品可达到200um/min（5×6”）
在MEMS上可以处理超过1mm厚度的SU-8胶层
各向同性刻蚀，均匀性优于5%，
无离子攻击，工艺的温度可达到70°C以下
对Ni，Ni/Fe，Au，Cu等金属材料无损害

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