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中标:北京航空航天大学-MUEGGE微波等离子去胶机

发布时间:

2022-10-9

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微波功率1.25kW/3kW 频率2.45GHz

工艺台面尺寸460X460mm,可同时处理9个6”片
可有效去除SU-8胶,速率:20um/min,
对于大面积样品可达到200um/min(5×6”)
在MEMS上可以处理超过1mm厚度的SU-8胶层
各向同性刻蚀,均匀性优于5%,
无离子攻击,工艺的温度可达到70°C以下
对Ni,Ni/Fe,Au,Cu等金属材料无损害