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【产品说明】MUEGGE微波等离子去胶机 | 去胶机| 等离子去胶机

MUEGGE微波等离子去胶机 | 去胶机| 等离子去胶机
产品说明:
微波功率1.25kW/3kW 频率2.45GHz
工艺台面尺寸460X460mm,可同时处理9个6”片
可有效去除SU-8胶,速率:20um/min,
对于大面积样品可达到200um/min(5×6”)
在MEMS上可以处理超过1mm厚度的SU-8胶层
各向同性刻蚀,均匀性优于5%,
无离子攻击,工艺的温度可达到70°C以下
对Ni,Ni/Fe,Au,Cu等金属材料无损害