联系电话：010-51652878 / 13910925651

新闻中心

当前位置： 首页 > 新闻中心 > 公司新闻

【产品说明】微波等离子蚀刻机(3 kW / 2450 MHz)|微波等离子蚀刻机|蚀刻机

发布时间：

2020-12-1

浏览次数：

3169次
上一篇：【产品说明】MUEGGE微波等离子去胶机 | 去胶机| 等离子去胶机 下一篇：杰能达微波-德国MUEGGE中国总代理
微波等离子蚀刻机(3 kW / 2450 MHz)|微波等离子蚀刻机|蚀刻机

基本参数：
微波功率3kW 频率2.45GHz
工艺台面尺寸320X320mm，
可处理100/150/200/300mm尺寸的晶圆片
各向同性刻蚀，无离子攻击
对于硅样品刻蚀率可达到90μm /min
对于200mm晶圆腐蚀率为3μm/min，
300mm晶圆腐蚀率为2.5μm/min
对于典型的SiN及BPSG 蚀刻率 1 μm/min，
典型热氧化物 250 nm/min

联系电话

010-51652878 / 13910925651

Email

hcy@jndwb.com

地址

北京市房山区天星街1号院绿地启航社14号楼1705

Copyright@ 2003-2023 北京杰能达机电设备有限公司版权所有 | 备案号：京ICP备09022327号-7 友情链接：微波发生器 | | 网络技术：北京网站建设